مبدل فشار پیزورسیستیو MEMS برای اندازه گیری سریع و حساس

1چرا شما به آن نیاز دارید

کنترل هیدرولیک، اندازه گیری گاز و حلقه های فرآیند سریع نیاز به سنسورهای فشار دارند که در میلی ثانیه با حساسیت بالا در یک محدوده گسترده پاسخ می دهند.این مبدل پیزورسیستیو MEMS از یک پل سیلیکون Wheatstone استفاده می کند که فشار را به یک تغییر مقاومت دقیق تبدیل می کند، پاسخ 1ms را ارائه می دهد و محدوده سری از 0.1 kPa تا 700 MPa را فراهم می کند.حسگر مقرون به صرفه که با تغییرات فشار سریع که دستگاه های آهسته تر یا کمتر حساس از دست می دهند، همراه است.

2اصول کار

فشار یک دیافراگم سیلیکونی را منحرف می کند که در آن اندازه گیری های فشرده سازی پیزورسیستیو پخش می شوند و پل گندم را تشکیل می دهند.عدم تعادل پل و تولید ولتاژ متناسب با فشار. این ولتاژ به خروجی های استاندارد conditioned می شود 4-20 mA، 0-5 V، 0-10 V یا RS485. ساخت سیلیکون MEMS حساسیت بالا، اندازه کوچک و پاسخ سریع 1 ms را فراهم می کند،ایده آل برای کاربردهای پویا و دقیق.

3مزیت های اصلی

• سنسور پل سیلیکون MEMS Wheatstone
• پاسخ سریع 1 ms
• حساسیت بالا
• محدوده سری 0.1 kPa تا 700 MPa
• دقت ±0.25٪ FS
• 4-20 mA / 0-5 V / 0-10 V / RS485
• -20 تا 120 درجه سانتیگراد
• اتصال الکتریکی M12
• طراحی فشرده و کم مصرف
• مناسب برای رسانه های گازی و مایع

نقاط درد رایج و راه حل ها

موارد درخواست

مشخصات فنی

سوالات عمومی

سوال: یک دستگاه فشار پیزورسیستیو چیست؟

یک دستگاه فشار سنج پیزورسیستیو فشار را با استفاده از سنجه های فشار سیلیکونی پیزورسیستیو که بر روی دیافراگم پخش شده و به عنوان یک پل گندم متصل شده، اندازه گیری می کند.تغییرات مقاومت گج، عدم تعادل پل و تولید یک خروجی متناسب با فشار. این رویکرد مبتنی بر MEMS پایه اکثر سنسورهای فشاری فشرده مدرن است.ارائه حساسیت بالا و پاسخ سریع.

سوال: محدوده اندازه گیری چیست؟

این سری محدوده اندازه گیری را از 0.1 kPa تا 700 MPa پوشش می دهد، که فشار های فرقی بسیار پایین و خلاء را تا فشار های بسیار بالا پوشش می دهد.مدل های فردی برای محدوده های خاص در این محدوده تنظیم شده اند، به عنوان مثال، مدل استاندارد از 0-0.1 kPa تا 3 MPa را پوشش می دهد. این عرض اجازه می دهد تا یک فناوری تقریباً هر نیاز اندازه گیری فشار را برآورده کند.

س: پاسخ چقدر سریع است؟

زمان پاسخ 1 ms است که باعث می شود این ترانسدوسر برای نظارت فشار پویا، حلقه های کنترل هیدرولیکی و شرایط فرآیند سریع تغییر کند.پاسخ سریع تضمین می کند که سیستم کنترل داده های فشار فعلی را بدون تاخیر دریافت می کند، که برای کنترل پایدار حلقه بسته هیدرولیک و فرآیندهای سریع ضروری است.

س: چه خروجی هایی در دسترس هستند؟

این پردازنده دارای خروجی 4-20 mA، 0-5 V، 0-10 V و RS485 است. حلقه 4-20 mA برای سیستم های صنعتی PLC و DCS استاندارد است، خروجی ولتاژ برای سیستم های جمع آوری داده مناسب است،و RS485 امکان ارتباطات دیجیتال را فراهم می کنداین انعطاف پذیری اجازه می دهد تا سنسور تقریبا به هر سیستم کنترل یا اندازه گیری متصل شود.

سوال: دقتش چقدر است؟

دقت ±0.25٪ FS برای مدل استاندارد است. طراحی پل سیلیکون با حساسیت بالا همچنین از نسخه های دقیق تر برای برنامه های دقیق پشتیبانی می کند. برای اکثر هیدرولیک ها،وظایف اندازه گیری گاز و کنترل فرآیند، ±0.25٪ FS بیش از اندازه کافی برای اندازه گیری قابل اعتماد فراهم می کند.

س: چه رسانه هایی را می تواند اندازه گیری کند؟

آن را به اندازه گیری مواد گاز و مایع سازگار با مواد مرطوب شده است. سنسورهای سیلیکون MEMS به طور گسترده ای در هوا، آب، نفت، گاز طبیعی و مایعات فرآیند استفاده می شود. برای رسانه های تهاجمی یا خوردنی،مواد دیافرام مرطوب شده باید بررسی شوند یا یک نسخه جدا شده از دیافرام برای محافظت از عنصر سیلیکون انتخاب شود..

سوال: محدوده دمای عملیاتی چیست؟

محدوده دمای کار -20 تا 120 درجه سانتیگراد است که بیشتر کاربردهای صنعتی و بیرونی را پوشش می دهد. در این محدوده سنسور دقت خود را حفظ می کند.با تعویض دمایی اعمال شده بر روی خروجی پلبرای دماهای شدید فراتر از این محدوده، یک طرح مهر و موم از راه دور یا مواد خاص مورد نیاز است.

س: چرا یک سنسور سیلیکونی MEMS بهتر از یک سنسور سنتی است؟

سنسورهای سیلیکونی MEMS کوچکتر، سبک تر و حساس تر از سنسورهای سنتی فشار سنج فولیک هستند. ساختار سیلیکونی یکپارچه باعث حساسیت بالا می شود.پاسخ سریع و تکرار عالیاین مزیت ها باعث می شود که مبدل های پیزورسیستیو MEMS انتخاب غالب برای اندازه گیری فشارهای جمع و جور و با عملکرد بالا باشند.

سوال: چطور نصب می شود؟

این ترانسدوسر از طریق اتصال فرآیند (گرده دار) به پورت فشار نصب می شود، با اتصال الکتریکی از طریق یک کانکتور M12.آن را به اندازه کافی جمع و جور برای قرار دادن در فضای تنگ بر روی دسته های هیدرولیکی، اجراهای گازی و لوله های آزمایش. سیم کشی به خروجی انتخاب شده 4-20 mA، ولتاژ یا RS485 متصل می شود و سنسور برای برنامه کاربردی تنظیم می شود.

سوال: کجا استفاده می شود؟

از آن در سیستم های هیدرولیکی، اندازه گیری گاز طبیعی، کنترل فرآیند، آزمایش و اندازه گیری و هر برنامه ای که نیاز به یک سنسور فشار سریع، حساس و فشرده دارد استفاده می شود.طیف گسترده ای از سری ها و خروجی های متعدد آن را به یک بلوک ساختمانی متنوع برای تجهیزات OEM و سیستم های اندازه گیری صنعتی تبدیل می کند.