مصنع رقائق أشباه الموصلات في شنغهاي: أجهزة إرسال الضغط/الضغط التفاضلي E+H لحماية البيئات الدقيقة في غرف الأبحاث
2026/05/28
خلفية المشروع
يتطلب منشأة تصنيع رقائق 12 بوصة الحفاظ على ضغط تفاضلي بسيط قدره 510 Pa في مناطق الغرف النظيفة 1 3 لمنع التلوث المتبادل.تعمل أنظمة غازات العادم الحمضية والقلوية في ظروف تآكل قويةفي ظروف الضغط السلبي العالي
التحديات الرئيسية
- دقة عالية للغاية مطلوبة للضغط التفاضلي الدقيق (5 با) ، مما يجعل الأجهزة التقليدية غير مستقرة.
- تآكل قوي من غازات العادم الحمضية والقلوية، مما يؤدي إلى ثقب الحجاب الحاجز وتسرب.
- تقلبات كبيرة في الضغط السلبي في القناة، مما يسبب زيادة في المروحة والأنذارات.
المنتجات المختارة
- جهاز إرسال الضغط التفاضلي PMD75B ذو الدرجة الدلتا (لضبط الضغط الدقيق في الغرف النظيفة، دقة ±0.035%) ؛
- Cerabar PMP55B (مع مواد Hastelloy C276) (لتطبيقات غازات العادم الحمضية والقلوية).
نتائج التطبيق
- ضغط الفارق الصغير في الغرفة النظيفة في حدود ± 1 Pa ، مع صفر حوادث التلوث المتقاطع على مدار السنة.
- لم تظهر الحجابات الحجابية Hastelloy C276 أي تآكل بعد 18 شهرًا من التشغيل المستمر في بيئات غازات العادم بحجم pH 1 ∼14.
- إصدار بيانات مستقر في حدود ± 10 Pa ، ويقوم الإنذار التلقائي بتشغيل أكثر من 50 Pa ، مما يزيل زيادة المروحة وإيقاف التشغيل.
- تم نشر ما مجموعه 4،200 وحدة في جميع أنحاء المشروع، مما أدى إلى إنشاء معيار في صناعة أشباه الموصلات في الصين.
