Fabricación de obleas de semiconductores de Shanghái: E+H Transmisores de presión/presión diferencial protegen los microambientes de las salas limpias

Una instalación de fabricación de obleas de 12 pulgadas requiere el mantenimiento de una presión micro-diferencial de 5 ‰ 10 Pa en las zonas de sala limpia 1 ‰ 3 para evitar la contaminación cruzada.Los sistemas de gases de escape ácidos y alcalinos funcionan bajo condiciones de alta corrosión, condiciones de alta presión negativa.

• Extrema precisión requerida para la presión micro-diferencial (5 Pa), lo que hace inestables los instrumentos convencionales.
• Corrosión fuerte por gases de escape ácidos y alcalinos, que conduce a perforación y fuga del diafragma.
• Grandes fluctuaciones en la presión negativa del conducto, causando frecuentes oleadas y alarmas.

• Transmisor de presión diferencial PMD75B de barra delta (para el control de la micropresión en salas limpias, con una precisión de ±0,035%);
• Cerabar PMP55B (con material Hastelloy C276) (para aplicaciones de gases de escape ácidos y alcalinos).

• La presión micro-diferencial de la sala limpia se mantendrá dentro de ±1 Pa, sin incidencias de contaminación cruzada durante todo el año.
• Los diafragmas Hastelloy C276 no presentaron ninguna corrosión después de 18 meses de funcionamiento continuo en ambientes de escape con pH 1·14.
• "Técnicas de control de velocidad" (1): las técnicas de control de velocidad utilizadas en el ensayo de velocidad.
• Un total de 4.200 unidades se desplegaron en todo el proyecto, estableciendo un punto de referencia en la industria de semiconductores de China.