Tấm wafer bán dẫn Thượng Hải: Bộ truyền áp suất/áp suất chênh lệch E+H Bảo vệ môi trường vi mô phòng sạch
2026/05/28
Bối cảnh dự án
Cơ sở chế tạo tấm wafer 12 inch yêu cầu duy trì áp suất chênh lệch vi mô 5–10 Pa trong khu vực phòng sạch 1–3 để ngăn ngừa lây nhiễm chéo. Hệ thống khí thải axit và kiềm hoạt động trong điều kiện ăn mòn cao, áp suất âm cao.
Những thách thức cốt lõi
- Cần có độ chính xác cực cao đối với áp suất vi sai (5 Pa), khiến các thiết bị thông thường không ổn định;
- Ăn mòn mạnh do khí thải axit và kiềm, dẫn đến thủng và rò rỉ màng ngăn;
- Áp suất âm trong ống dao động lớn, khiến quạt thường xuyên tăng vọt và báo động.
Sản phẩm được chọn
- Máy phát áp suất chênh lệch Deltabar PMD75B (để điều khiển vi áp trong phòng sạch, độ chính xác ± 0,035%);
- Cerabar PMP55B (với vật liệu Hastelloy C276) (dành cho ứng dụng khí thải axit và kiềm).
Kết quả ứng tuyển
- Áp suất chênh lệch vi mô trong phòng sạch được duy trì trong phạm vi ±1 Pa, không có sự cố ô nhiễm chéo trong suốt cả năm;
- Màng chắn Hastelloy C276 không bị ăn mòn sau 18 tháng hoạt động liên tục trong môi trường khí thải có độ pH 1–14;
- Đầu ra dữ liệu ổn định trong phạm vi ±10 Pa, cảnh báo tự động được kích hoạt trên 50 Pa, loại bỏ hiện tượng tăng đột biến và tắt quạt;
- Tổng cộng có 4.200 đơn vị được triển khai trong toàn bộ dự án, thiết lập một chuẩn mực trong ngành bán dẫn của Trung Quốc.
