อุปกรณ์การผลิตแผ่นแผ่นขนาด 12 นิ้วต้องรักษาความดันความแตกต่างขนาดเล็ก 5 ‰ 10 Pa ในโซนห้องสะอาด 1 ‰ 3 เพื่อป้องกันการติดเชื้อข้ามระบบก๊าซออกกรดและแอลคาลีทํางานภายใต้ภาวะกัดรังแรงสภาพความดันลบสูง

• ความแม่นยําที่สูงสุดที่จําเป็นสําหรับความดันความแตกต่างขนาดเล็ก (5 Pa) ทําให้เครื่องมือประเพณีไม่มั่นคง
• การกัดกรองที่แรงจากก๊าซออกกรดและเกลือ ส่งผลให้มีการเจาะและรั่วไหลของแหลม
• การเปลี่ยนแปลงแรงกดดันในช่องทางที่ไม่ดีมาก ทําให้ลมลื่นและสัญญาณเตือนบ่อยๆ

• เครื่องส่งความดันความแตกต่าง PMD75B deltabar (สําหรับควบคุมความดันขนาดเล็กในห้องสะอาด ความแม่นยํา ± 0.035%)
• Cerabar PMP55B (มีวัสดุ Hastelloy C276) (สําหรับการใช้งานก๊าซออกกรดและเกลือ)

• ความดันความแตกต่างขนาดเล็กในห้องสะอาดคงอยู่ในระยะ ± 1 Pa โดยไม่มีเหตุการณ์การติดเชื้อข้ามตลอดปี
• แดแอฟราแกม Hastelloy C276 ไม่แสดงให้เห็นว่าเกิดการเกรี้ยวหลังจาก 18 เดือนของการทํางานต่อเนื่องในสภาพแวดล้อมปริมาณ pH 1 ∼14
• การออกข้อมูลที่มั่นคง ภายใน ± 10 Pa, เตือนอัตโนมัติที่กระตุ้นมากกว่า 50 Pa, ยกเลิกการกระตุ้นลมและการปิด;
• จํานวนทั้งหมด 4,200 ยูนิตถูกนําไปใช้ในโครงการนี้ โดยสร้างมาตรฐานในอุตสาหกรรมครึ่งนําของจีน