Shanghai Semiconductor Wafer Fab: เครื่องส่งสัญญาณความดัน/ความดันแตกต่าง E+H ปกป้องสภาพแวดล้อมขนาดเล็กในห้องสะอาด
2026/05/28
สถานการณ์โครงการ
อุปกรณ์การผลิตแผ่นแผ่นขนาด 12 นิ้วต้องรักษาความดันความแตกต่างขนาดเล็ก 5 ‰ 10 Pa ในโซนห้องสะอาด 1 ‰ 3 เพื่อป้องกันการติดเชื้อข้ามระบบก๊าซออกกรดและแอลคาลีทํางานภายใต้ภาวะกัดรังแรงสภาพความดันลบสูง
ปัญหาหลัก
- ความแม่นยําที่สูงสุดที่จําเป็นสําหรับความดันความแตกต่างขนาดเล็ก (5 Pa) ทําให้เครื่องมือประเพณีไม่มั่นคง
- การกัดกรองที่แรงจากก๊าซออกกรดและเกลือ ส่งผลให้มีการเจาะและรั่วไหลของแหลม
- การเปลี่ยนแปลงแรงกดดันในช่องทางที่ไม่ดีมาก ทําให้ลมลื่นและสัญญาณเตือนบ่อยๆ
ผลิตภัณฑ์ที่ถูกเลือก
- เครื่องส่งความดันความแตกต่าง PMD75B deltabar (สําหรับควบคุมความดันขนาดเล็กในห้องสะอาด ความแม่นยํา ± 0.035%)
- Cerabar PMP55B (มีวัสดุ Hastelloy C276) (สําหรับการใช้งานก๊าซออกกรดและเกลือ)
ผลการใช้งาน
- ความดันความแตกต่างขนาดเล็กในห้องสะอาดคงอยู่ในระยะ ± 1 Pa โดยไม่มีเหตุการณ์การติดเชื้อข้ามตลอดปี
- แดแอฟราแกม Hastelloy C276 ไม่แสดงให้เห็นว่าเกิดการเกรี้ยวหลังจาก 18 เดือนของการทํางานต่อเนื่องในสภาพแวดล้อมปริมาณ pH 1 ∼14
- การออกข้อมูลที่มั่นคง ภายใน ± 10 Pa, เตือนอัตโนมัติที่กระตุ้นมากกว่า 50 Pa, ยกเลิกการกระตุ้นลมและการปิด;
- จํานวนทั้งหมด 4,200 ยูนิตถูกนําไปใช้ในโครงการนี้ โดยสร้างมาตรฐานในอุตสาหกรรมครึ่งนําของจีน
