Dom Nowości

Shanghai Semiconductor Wafer Fab: E+H Differencial Pressure/Pressure Transmitters Safeguard Cleanroom Microenvironments (Przewodnik półprzewodnikowy w Szanghaju)

Orzecznictwo
Chiny Xi 'an Qinwei Instrument Factory (General Partnership Enterprise) Certyfikaty
Chiny Xi 'an Qinwei Instrument Factory (General Partnership Enterprise) Certyfikaty
Im Online Czat teraz
firma Nowości
Shanghai Semiconductor Wafer Fab: E+H Differencial Pressure/Pressure Transmitters Safeguard Cleanroom Microenvironments (Przewodnik półprzewodnikowy w Szanghaju)
najnowsze wiadomości o firmie Shanghai Semiconductor Wafer Fab: E+H Differencial Pressure/Pressure Transmitters Safeguard Cleanroom Microenvironments (Przewodnik półprzewodnikowy w Szanghaju)
Tło projektu

Zakład produkujący 12-calowe płytki wymaga utrzymywania mikroróżnicy ciśnień na poziomie 5–10 Pa w strefach pomieszczeń czystych 1–3, aby zapobiec zanieczyszczeniu krzyżowemu. Kwaśne i zasadowe układy spalinowe pracują w warunkach silnie korozyjnych i pod wysokim podciśnieniem.

Podstawowe wyzwania
  • Niezwykle wysoka precyzja wymagana dla mikroróżnicy ciśnień (5 Pa), powodująca niestabilność konwencjonalnych instrumentów;
  • Silna korozja spowodowana kwasowymi i zasadowymi spalinami, prowadząca do perforacji i nieszczelności membrany;
  • Duże wahania podciśnienia w kanale, powodujące częste wzrosty wydajności wentylatorów i alarmy.
Wybrane produkty
  • Przetwornik różnicy ciśnień Deltabar PMD75B (do kontroli mikrociśnienia w pomieszczeniach czystych, dokładność ±0,035%);
  • Cerabar PMP55B (z materiałem Hastelloy C276) (do zastosowań w kwasowych i zasadowych spalinach).
Wyniki aplikacji
  • Mikroróżnica ciśnień w pomieszczeniach czystych utrzymywana w granicach ±1 Pa, bez przypadków zanieczyszczeń krzyżowych przez cały rok;
  • Membrany Hastelloy C276 nie wykazały korozji po 18 miesiącach ciągłej pracy w środowisku spalin o pH 1–14;
  • Stabilne wyjście danych w zakresie ±10 Pa, automatyczny alarm uruchamiany powyżej 50 Pa, eliminujący przepięcia i przestoje wentylatorów;
  • W ramach projektu wdrożono łącznie 4200 jednostek, ustanawiając punkt odniesienia w chińskim przemyśle półprzewodników.
Pub Czas : 2026-05-28 11:20:49 >> lista aktualności
Szczegóły kontaktu
Xi 'an Qinwei Instrument Factory (General Partnership Enterprise)

Osoba kontaktowa: Mr. Wang

Tel: 19502994209

Wyślij zapytanie bezpośrednio do nas (0 / 3000)