Shanghai Semiconductor Wafer Fab: E+H Differencial Pressure/Pressure Transmitters Safeguard Cleanroom Microenvironments (Przewodnik półprzewodnikowy w Szanghaju)

Zakład produkujący 12-calowe płytki wymaga utrzymywania mikroróżnicy ciśnień na poziomie 5–10 Pa w strefach pomieszczeń czystych 1–3, aby zapobiec zanieczyszczeniu krzyżowemu. Kwaśne i zasadowe układy spalinowe pracują w warunkach silnie korozyjnych i pod wysokim podciśnieniem.

• Niezwykle wysoka precyzja wymagana dla mikroróżnicy ciśnień (5 Pa), powodująca niestabilność konwencjonalnych instrumentów;
• Silna korozja spowodowana kwasowymi i zasadowymi spalinami, prowadząca do perforacji i nieszczelności membrany;
• Duże wahania podciśnienia w kanale, powodujące częste wzrosty wydajności wentylatorów i alarmy.

• Przetwornik różnicy ciśnień Deltabar PMD75B (do kontroli mikrociśnienia w pomieszczeniach czystych, dokładność ±0,035%);
• Cerabar PMP55B (z materiałem Hastelloy C276) (do zastosowań w kwasowych i zasadowych spalinach).

• Mikroróżnica ciśnień w pomieszczeniach czystych utrzymywana w granicach ±1 Pa, bez przypadków zanieczyszczeń krzyżowych przez cały rok;
• Membrany Hastelloy C276 nie wykazały korozji po 18 miesiącach ciągłej pracy w środowisku spalin o pH 1–14;
• Stabilne wyjście danych w zakresie ±10 Pa, automatyczny alarm uruchamiany powyżej 50 Pa, eliminujący przepięcia i przestoje wentylatorów;
• W ramach projektu wdrożono łącznie 4200 jednostek, ustanawiając punkt odniesienia w chińskim przemyśle półprzewodników.