সাংহাই সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার ফ্যাব: E+H ডিফারেনশিয়াল প্রেসার/প্রেশার ট্রান্সমিটার সেফগার্ড ক্লিনরুম মাইক্রোএনভায়রনমেন্ট
2026/05/28
প্রকল্পের পটভূমি
একটি ১২ ইঞ্চি ওফার তৈরির সুবিধার জন্য ক্রস-দূষণ রোধ করার জন্য ক্লিন রুম জোন ১-৩-এ ৫-১০ পা মাইক্রো-ডিফারেনশিয়াল চাপ বজায় রাখা প্রয়োজন।অ্যাসিড এবং ক্ষারীয় নিষ্কাশন গ্যাস সিস্টেম অত্যন্ত ক্ষয়কারী অবস্থার অধীনে কাজ করে, উচ্চ-নেগেটিভ চাপের শর্ত।
মূল সমস্যা
- মাইক্রো-ডিফারেনশিয়াল চাপের জন্য অত্যন্ত উচ্চ নির্ভুলতা প্রয়োজন (5 Pa), যা প্রচলিত যন্ত্রগুলিকে অস্থির করে তোলে;
- অ্যাসিড এবং ক্ষারীয় নিষ্কাশন গ্যাস থেকে শক্তিশালী ক্ষয়, যা ডায়াফ্রাগম ছিদ্র এবং ফুটো হতে পারে;
- নলের নেতিবাচক চাপের বড় পরিবর্তন, যা প্রায়ই ফ্যানের চাপ এবং অ্যালার্ম সৃষ্টি করে।
নির্বাচিত পণ্য
- ডেল্টাবার PMD75B ডিফারেনশিয়াল চাপ ট্রান্সমিটার (ক্লিনরুম মাইক্রো চাপ নিয়ন্ত্রণের জন্য, ± 0.035% নির্ভুলতা);
- Cerabar PMP55B (Hastelloy C276 উপাদান সহ) (অ্যাসিড এবং ক্ষারীয় নিষ্কাশন গ্যাস অ্যাপ্লিকেশনের জন্য) ।
আবেদনের ফলাফল
- ক্লিন রুমের মাইক্রো ডিফারেনশিয়াল চাপ ± 1 Pa এর মধ্যে বজায় রাখা হয়, সারা বছর জুড়ে ক্রস-দূষণের ঘটনা শূন্য হয়;
- এইস্টেললোই সি২৭৬ ডায়াফ্রাগমগুলোতে ১৮ মাসের অবিচ্ছিন্ন অপারেশনের পর পিএইচ ১১৪ এর নিষ্কাশন পরিবেশে ক্ষয় দেখা যায়নি।
- ±10 Pa এর মধ্যে স্থিতিশীল ডেটা আউটপুট, 50 Pa এর উপরে স্বয়ংক্রিয় অ্যালার্ম ট্রিগার করা, ফ্যান সার্জ এবং বন্ধ হওয়া দূর করে;
- এই প্রকল্পে মোট ৪,২০০টি ইউনিট স্থাপন করা হয়েছে, যা চীনের অর্ধপরিবাহী শিল্পে একটি মাইলফলক স্থাপন করেছে।
