Şangay Yarı İletken Plaka Fabrikası: E+H Fark Basınç/Basınç Vericileri Temiz Oda Mikro Ortamlarını Korur

12 inçlik levha üretim tesisi, çapraz kontaminasyonu önlemek için 1-3 numaralı temiz oda bölgelerinde 5-10 Pa'lık bir mikro diferansiyel basıncın korunmasını gerektirir. Asit ve alkali egzoz gazı sistemleri son derece aşındırıcı, yüksek negatif basınç koşulları altında çalışır.

• Mikro diferansiyel basınç (5 Pa) için gereken son derece yüksek hassasiyet, geleneksel cihazları kararsız hale getirir;
• Asit ve alkali egzoz gazlarından kaynaklanan güçlü korozyon, diyaframın delinmesine ve sızıntıya neden olur;
• Kanal negatif basıncındaki büyük dalgalanmalar, sık sık fan dalgalanmasına ve alarmlara neden olur.

• Deltabar PMD75B diferansiyel basınç vericisi (temiz oda mikro basınç kontrolü için, doğruluk ±%0,035);
• Cerabar PMP55B (Hastelloy C276 malzemeli) (asit ve alkali egzoz gazı uygulamaları için).

• Temiz oda mikro diferansiyel basıncı yıl boyunca sıfır çapraz kontaminasyon olayıyla ±1 Pa düzeyinde tutuldu;
• Hastelloy C276 diyaframları, pH 1-14 egzoz ortamlarında 18 aylık sürekli çalışmanın ardından korozyon göstermedi;
• ±10 Pa dahilinde kararlı veri çıkışı, 50 Pa'nın üzerinde otomatik alarm tetiklenir, fan dalgalanmasını ve kapanmaları ortadan kaldırır;
• Proje genelinde toplam 4.200 ünite konuşlandırılarak Çin'in yarı iletken endüstrisinde bir referans noktası oluşturuldu.