Шанхайский полупроводниковый вафельный завод: дифференциальное давление/передатчики давления E+H защищают микросреды чистых помещений

На предприятии по производству 12-дюймовых пластин требуется поддерживать микроперепад давления 5–10 Па в зонах чистых помещений 1–3, чтобы предотвратить перекрестное загрязнение. Системы выхлопных газов с кислотой и щелочью работают в условиях сильной коррозии и высокого отрицательного давления.

• Чрезвычайно высокая точность, необходимая для микроперепада давления (5 Па), что делает обычные инструменты нестабильными;
• Сильная коррозия под действием кислых и щелочных выхлопных газов, приводящая к перфорации диафрагмы и протечкам;
• Сильные колебания отрицательного давления в воздуховодах, вызывающие частые скачки напряжения в вентиляторах и срабатывание сигналов тревоги.

• Преобразователь перепада давления Deltabar PMD75B (для контроля микродавления в чистых помещениях, точность ±0,035%);
• Cerabar PMP55B (с материалом Hastelloy C276) (для кислотных и щелочных выхлопных газов).

• Микроперепад давления в чистых помещениях поддерживается в пределах ±1 Па, при этом случаи перекрестного загрязнения отсутствуют в течение всего года;
• Диафрагмы Hastelloy C276 не показали коррозии после 18 месяцев непрерывной эксплуатации в среде выхлопных газов с pH 1–14;
• Стабильный вывод данных в пределах ±10 Па, автоматический сигнал тревоги при превышении 50 Па, исключающий скачки напряжения и отключения вентилятора;
• Всего в рамках проекта было задействовано 4200 единиц, что стало эталоном в полупроводниковой промышленности Китая.