Fabrique de plaquettes de semi-conducteurs de Shanghai : les transmetteurs de pression différentielle/pression E+H protègent les microenvironnements des salles blanches

Une installation de fabrication de plaquettes de 12 pouces doit maintenir une pression micro-différentielle de 5 ‰ 10 Pa dans les zones de salle blanche 1 ‰ 3 afin d'éviter la contamination croisée.Les systèmes de gaz d'échappement acides et alcalins fonctionnent dans des conditions hautement corrosives, conditions de haute pression négative.

• Extrêmement haute précision requise pour la pression micro-différentielle (5 Pa), rendant instables les instruments classiques;
• Une forte corrosion par les gaz d'échappement acides et alcalins, entraînant une perforation et une fuite du diaphragme;
• Des fluctuations importantes de la pression négative dans les conduits, provoquant des surtensions fréquentes et des alarmes.

• Transmetteur de pression différentielle PMD75B à barre de delta (pour le contrôle de la micropression dans les salles blanches, précision ± 0,035%);
• Cerabar PMP55B (avec du matériau Hastelloy C276) (pour les applications de gaz d'échappement acides et alcalins).

• la pression micro-différentielle dans la salle blanche est maintenue à ±1 Pa, avec zéro cas de contamination croisée tout au long de l'année;
• Les diaphragmes Hastelloy C276 n'ont montré aucune corrosion après 18 mois de fonctionnement continu dans des environnements d'échappement à pH 1·14.
• une puissance de sortie de données stable à ± 10 Pa, une alarme automatique déclenchée au-dessus de 50 Pa, éliminant les surtensions et les arrêts de ventilation;
• Au total, 4 200 unités ont été déployées dans l'ensemble du projet, établissant ainsi une référence dans l'industrie chinoise des semi-conducteurs.