上海半導体ウェーハ工場: E+H 差圧/圧力トランスミッターがクリーンルームの微小環境を保護
2026/05/28
プロジェクトの背景
12 インチのウェーハ製造施設では、相互汚染を防ぐために、クリーンルーム ゾーン 1 ～ 3 内で 5 ～ 10 Pa の微差圧を維持する必要があります。酸およびアルカリの排気ガス システムは、腐食性の高い高負圧条件下で動作します。
中核的な課題
- 微差圧（5Pa）では非常に高い精度が要求されるため、従来の機器は不安定でした。
- 酸およびアルカリの排気ガスによる強い腐食により、ダイヤフラムの穴が開いて漏れが発生します。
- ダクト負圧の変動が大きく、ファンサージやアラームが頻繁に発生します。
厳選された製品
- デルタバー PMD75B 差圧伝送器 (クリーンルーム微圧制御用、精度 ±0.035%);
- Cerabar PMP55B (ハステロイ C276 材質) (酸およびアルカリ排気ガス用途用)。
申請結果
- クリーンルームの微差圧は ±1 Pa 以内に維持され、年間を通じて相互汚染はゼロです。
- ハステロイ C276 ダイヤフラムは、pH 1 ～ 14 の排気環境で 18 か月連続運転した後も腐食を示さなかった。
- ±10 Pa 以内の安定したデータ出力、50 Pa を超えると自動アラームがトリガーされ、ファンのサージやシャットダウンを排除します。
- プロジェクト全体で合計 4,200 台が導入され、中国の半導体産業のベンチマークを確立しました。
