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上海半導体ウェーハ工場: E+H 差圧/圧力トランスミッターがクリーンルームの微小環境を保護

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上海半導体ウェーハ工場: E+H 差圧/圧力トランスミッターがクリーンルームの微小環境を保護
最新の会社ニュース 上海半導体ウェーハ工場: E+H 差圧/圧力トランスミッターがクリーンルームの微小環境を保護
プロジェクトの背景

12 インチのウェーハ製造施設では、相互汚染を防ぐために、クリーンルーム ゾーン 1 ～ 3 内で 5 ～ 10 Pa の微差圧を維持する必要があります。酸およびアルカリの排気ガス システムは、腐食性の高い高負圧条件下で動作します。

中核的な課題
  • 微差圧（5Pa）では非常に高い精度が要求されるため、従来の機器は不安定でした。
  • 酸およびアルカリの排気ガスによる強い腐食により、ダイヤフラムの穴が開いて漏れが発生します。
  • ダクト負圧の変動が大きく、ファンサージやアラームが頻繁に発生します。
厳選された製品
  • デルタバー PMD75B 差圧伝送器 (クリーンルーム微圧制御用、精度 ±0.035%);
  • Cerabar PMP55B (ハステロイ C276 材質) (酸およびアルカリ排気ガス用途用)。
申請結果
  • クリーンルームの微差圧は ±1 Pa 以内に維持され、年間を通じて相互汚染はゼロです。
  • ハステロイ C276 ダイヤフラムは、pH 1 ～ 14 の排気環境で 18 か月連続運転した後も腐食を示さなかった。
  • ±10 Pa 以内の安定したデータ出力、50 Pa を超えると自動アラームがトリガーされ、ファンのサージやシャットダウンを排除します。
  • プロジェクト全体で合計 4,200 台が導入され、中国の半導体産業のベンチマークを確立しました。
パブの時間 : 2026-05-28 11:20:49 >> ニュースのリスト
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コンタクトパーソン: Mr. Wang

電話番号: 19502994209

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