Shanghai Semiconductor Wafer Fab: i trasmettitori di pressione/pressione differenziale E+H salvaguardano i microambienti delle camere bianche

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Shanghai Semiconductor Wafer Fab: i trasmettitori di pressione/pressione differenziale E+H salvaguardano i microambienti delle camere bianche

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Trasmettitore di pressione (47)

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Flussometro volumetrico positivo (14)

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Shanghai Semiconductor Wafer Fab: i trasmettitori di pressione/pressione differenziale E+H salvaguardano i microambienti delle camere bianche

Anteprima del progetto

Un impianto di fabbricazione di wafer da 12 pollici richiede il mantenimento di una pressione micro-differenziale di 5 ‰ 10 Pa nelle zone di stanza pulita 1 ‰ 3 per evitare la contaminazione incrociata.I sistemi di gas di scarico acidi e alcalini funzionano in condizioni di corrosione elevata, condizioni di alta pressione negativa.

Le principali sfide

Precisione estremamente elevata richiesta per la pressione micro-differenziale (5 Pa), rendendo instabili gli strumenti convenzionali;
Forte corrosione da gas di scarico acidi e alcalini, con conseguente perforazione del diaframma e perdite;
Grandi fluttuazioni nella pressione negativa del condotto, causando frequenti gonfiature e allarmi.

Prodotti selezionati

trasmettitore di pressione differenziale PMD75B a deltabar (per il controllo della micropressione in camera bianca, accuratezza ± 0,035%);
Cerabar PMP55B (con materiale Hastelloy C276) (per applicazioni a gas di scarico acidi e alcalini).

Risultati dell'applicazione

la pressione micro-differenziale in camera pulita mantenuta entro ±1 Pa, con zero incidenti di contaminazione incrociata durante tutto l'anno;
I diaframmi Hastelloy C276 non hanno mostrato alcuna corrosione dopo 18 mesi di funzionamento continuo in ambienti di scarico con pH 1·14.
"Fabbricazione in cui il prodotto non è in grado di essere utilizzato per la fabbricazione di dispositivi o di apparecchiature per la fabbricazione di dispositivi o apparecchi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi o apparecchi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi o apparecchi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi o apparecchi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi o apparecchi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi o apparecchi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi".
Un totale di 4.200 unità sono state distribuite in tutto il progetto, stabilendo un punto di riferimento nel settore dei semiconduttori cinese.

Tempo del pub : 2026-05-28 11:20:49 >> lista di notizie

Dettagli di contatto

Xi 'an Qinwei Instrument Factory (General Partnership Enterprise)

Persona di contatto: Mr. Wang

Telefono: 19502994209