Shanghai Semiconductor Wafer Fab: i trasmettitori di pressione/pressione differenziale E+H salvaguardano i microambienti delle camere bianche

Un impianto di fabbricazione di wafer da 12 pollici richiede il mantenimento di una pressione micro-differenziale di 5 ‰ 10 Pa nelle zone di stanza pulita 1 ‰ 3 per evitare la contaminazione incrociata.I sistemi di gas di scarico acidi e alcalini funzionano in condizioni di corrosione elevata, condizioni di alta pressione negativa.

• Precisione estremamente elevata richiesta per la pressione micro-differenziale (5 Pa), rendendo instabili gli strumenti convenzionali;
• Forte corrosione da gas di scarico acidi e alcalini, con conseguente perforazione del diaframma e perdite;
• Grandi fluttuazioni nella pressione negativa del condotto, causando frequenti gonfiature e allarmi.

• trasmettitore di pressione differenziale PMD75B a deltabar (per il controllo della micropressione in camera bianca, accuratezza ± 0,035%);
• Cerabar PMP55B (con materiale Hastelloy C276) (per applicazioni a gas di scarico acidi e alcalini).

• la pressione micro-differenziale in camera pulita mantenuta entro ±1 Pa, con zero incidenti di contaminazione incrociata durante tutto l'anno;
• I diaframmi Hastelloy C276 non hanno mostrato alcuna corrosione dopo 18 mesi di funzionamento continuo in ambienti di scarico con pH 1·14.
• "Fabbricazione in cui il prodotto non è in grado di essere utilizzato per la fabbricazione di dispositivi o di apparecchiature per la fabbricazione di dispositivi o apparecchi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi o apparecchi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi o apparecchi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi o apparecchi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi o apparecchi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi o apparecchi per la fabbricazione di dispositivi per la fabbricazione di dispositivi".
• Un totale di 4.200 unità sono state distribuite in tutto il progetto, stabilendo un punto di riferimento nel settore dei semiconduttori cinese.