영업 및 지원 : 견적 요청
홈 소식

Shanghai Semiconductor Wafer Fab: E+H 차압/압력 트랜스미터 클린룸 미세 환경 보호

모든 제품
레이더 레벨 가이드 (25)
압력 트랜스미터 (47)
디지털 압력 송신기 (18)
압력 레벨 게이지 (11)
온도 송신기 (26)
전자 유량계 (20)
초음파 흐름계 (15)
용적형 유량계 (14)
오리피스 플레이트 흐름계 (12)
플로트 유량계 (10)
자성 액체 레벨 (15)
바이메탈 온도계 (15)
방수 물계 (16)
전기 액추에이터 (13)
인증
중국 Xi 'an Qinwei Instrument Factory (General Partnership Enterprise) 인증
중국 Xi 'an Qinwei Instrument Factory (General Partnership Enterprise) 인증
제가 지금 온라인 채팅 해요
회사 소식
Shanghai Semiconductor Wafer Fab: E+H 차압/압력 트랜스미터 클린룸 미세 환경 보호
에 대한 최신 회사 뉴스 Shanghai Semiconductor Wafer Fab: E+H 차압/압력 트랜스미터 클린룸 미세 환경 보호
프로젝트 배경

12인치 웨이퍼 제조 시설에서는 교차 오염을 방지하기 위해 청정실 구역 1·3에서 5·10 Pa의 미세차차 압력을 유지해야 합니다.산성 및 알칼리 배기 가스 시스템은 매우 부식성 상태에서 작동합니다., 고 음압 조건.

주요 과제
  • 마이크로 디퍼렌셜 압력 (5 Pa) 에 매우 높은 정밀도가 요구되며, 기존 기계를 불안정하게 만듭니다.
  • 산성 및 알칼리 배기가스로부터 강한 부식, 대막 구멍과 누출로 이어집니다.
  • 방류관의 압력이 크게 변해서 빈번한 팬 파동과 경보가 발생합니다.
선택 된 제품
  • 델타바 PMD75B 차차 압력 송신기 (클린룸 마이크로 압력 제어, 정확도 ±0.035%)
  • 세라바 PMP55B (하스텔로이 C276 물질) (산성 및 알칼리 배기가스 용용)
신청 결과
  • 청정실의 미세차차압은 ±1 Pa 내에서 유지되며, 1년 내내 교차 오염이 발생하지 않습니다.
  • 하스텔로이 C276 대막은 pH 1 ∼14의 배기 환경에서 18개월 연속 작동한 후에도 부식되지 않았습니다.
  • ±10 Pa 내의 안정적인 데이터 출력, 50 Pa 이상 자동 알람이 작동하여 팬 급증 및 종료가 없도록 한다.
  • 총 4,200대의 단위가 프로젝트 전체에 배치되어 중국의 반도체 산업에서 기준점을 설정했습니다.
선술집 시간 : 2026-05-28 11:20:49 >> 뉴스 명부
연락처 세부 사항
Xi 'an Qinwei Instrument Factory (General Partnership Enterprise)

담당자: Mr. Wang

전화 번호: 19502994209

회사에 직접 문의 보내기 (0 / 3000)

온라인으로 연결하십시오
사이트맵
홈
개인 정보 정책 | 중국 좋은 품질 레이더 레벨 가이드 협력 업체.
© 2026 Xi 'an Qinwei Instrument Factory (General Partnership Enterprise). All Rights Reserved.

중국 산시성 시안시 싼차오 가 143번지

xaqinwei@radarlevelgauges.com

저희에 관하여 더 많은 것을 알고 싶으십시오? 다만 저희에게 연락하십시오