शंघाई सेमीकंडक्टर वेफर फैब: ई+एच विभेदक दबाव/दबाव ट्रांसमीटर क्लीनरूम सूक्ष्म वातावरण की सुरक्षा करते हैं
2026/05/28
परियोजना पृष्ठभूमि
12-इंच वेफर निर्माण सुविधा के लिए क्रॉस-संदूषण को रोकने के लिए क्लीनरूम ज़ोन 1-3 में 5-10 Pa का सूक्ष्म-अंतर दबाव बनाए रखने की आवश्यकता होती है। एसिड और क्षार निकास गैस प्रणालियाँ अत्यधिक संक्षारक, उच्च-नकारात्मक-दबाव स्थितियों में काम करती हैं।
मुख्य चुनौतियाँ
- सूक्ष्म-अंतर दबाव (5 Pa) के लिए अत्यधिक उच्च परिशुद्धता की आवश्यकता होती है, जो पारंपरिक उपकरणों को अस्थिर बनाती है;
- अम्ल और क्षार निकास गैसों से तीव्र क्षरण, जिससे डायाफ्राम वेध और रिसाव होता है;
- डक्ट के नकारात्मक दबाव में बड़ा उतार-चढ़ाव, जिससे बार-बार पंखे की आवाज़ और अलार्म बजता है।
चयनित उत्पाद
- डेल्टाबार पीएमडी75बी डिफरेंशियल प्रेशर ट्रांसमीटर (क्लीनरूम माइक्रो-प्रेशर नियंत्रण के लिए, सटीकता ±0.035%);
- सेराबार PMP55B (हैस्टेलॉय C276 सामग्री के साथ) (एसिड और क्षार निकास गैस अनुप्रयोगों के लिए)।
आवेदन परिणाम
- क्लीनरूम माइक्रो-डिफरेंशियल दबाव ±1 Pa के भीतर बनाए रखा गया, पूरे वर्ष में शून्य क्रॉस-संदूषण की घटनाओं के साथ;
- पीएच 1-14 निकास वातावरण में 18 महीने के निरंतर संचालन के बाद हेस्टेलॉय सी276 डायाफ्राम में कोई क्षरण नहीं दिखा;
- ±10 Pa के भीतर स्थिर डेटा आउटपुट, 50 Pa से ऊपर स्वचालित अलार्म चालू हो जाता है, जिससे पंखे की वृद्धि और शटडाउन समाप्त हो जाता है;
- चीन के सेमीकंडक्टर उद्योग में एक बेंचमार्क स्थापित करते हुए, परियोजना में कुल 4,200 इकाइयाँ तैनात की गईं।
