فاب ویفر نیمه هادی شانگهای: فرستنده فشار/فشار دیفرانسیل E+H Safeguard ریزمحیط های اتاق تمیز
2026/05/28
پیشینه پروژه
یک تاسیسات تولید وافرهای 12 اینچی نیاز به حفظ فشار میکرودیفرنسیال 5 ¢ 10 Pa در مناطق اتاق تمیز 1 ¢ 3 دارد تا از آلودگی متقابل جلوگیری شود.سیستم های گازهای خروجی اسیدی و قلیایی در شرایط بسیار خوردنی کار می کننددر شرایط فشار منفی بالا.
چالش های اصلی
- دقت بسیار بالا برای فشار میکرو دیفرنسیال (5 Pa) مورد نیاز است که باعث می شود ابزارهای معمولی ناپایدار باشند.
- خوردگی شدید از گاز های خروجی اسید و قلیایی که منجر به سوراخ شدن دیافراگم و نشت می شود.
- نوسانات بزرگ در فشار منفی لوله، باعث افزایش فانتین و آلارم ها می شود.
محصولات انتخاب شده
- فرستنده فشار فرقی دلتابار PMD75B (برای کنترل میکرو فشار اتاق تمیز، دقت ±0.035%).
- Cerabar PMP55B (با مواد Hastelloy C276) (برای کاربردهای گاز های خروجی اسیدی و قلیایی).
نتایج درخواست
- فشار میکرو دیفرنشیال اتاق تمیز در حدود ±1 Pa حفظ شده و هیچ حادثه آلودگی متقابل در طول سال وجود ندارد.
- دیافراگم های Hastelloy C276 پس از 18 ماه کار مستمر در محیط های خروجی با pH 1°14 هیچ خوردگی ای نشان ندادند.
- خروجی داده های پایدار در محدوده ±10 Pa، آلارم خودکار بیش از 50 Pa، حذف افزایش فن و خاموش شدن؛
- در مجموع 4200 واحد در سراسر پروژه مستقر شده است و یک معیار در صنعت نیمه هادی چین را ایجاد می کند.
